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東京エレクトロン株式会社

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  2011年 出願公開件数ランキング    第62位 621件 下降2010年:第57位 692件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第41位 739件 下降2010年:第39位 580件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2011-94238 めっき処理装置 2011年 5月12日
特開 2011-97028 熱膨張係数の差異によって生じる変形に適応可能な位置決めピン及び半導体製造装置 2011年 5月12日
特開 2011-95484 基板の処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2011年 5月12日
特開 2011-97798 電力用接続導体 2011年 5月12日
特開 2011-97101 半導体ウエハーの高圧処理チャンバー 2011年 5月12日
特開 2011-97063 プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法、ならびにコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 2011年 5月12日
特開 2011-97029 半導体装置の製造方法 2011年 5月12日
特開 2011-96689 プラズマ処理装置 2011年 5月12日
特開 2011-96687 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2011年 5月12日
特開 2011-88068 プライミング処理方法及びプライミング処理装置 2011年 5月 6日
特開 2011-88247 テクスチャ構造の形成されたシリコン基板を提供するためのインゴットの処理装置及びインゴットの処理方法 2011年 5月 6日
特開 2011-91323 半導体製造装置 2011年 5月 6日
特開 2011-91373 被処理体の冷却方法、冷却装置及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 2011年 5月 6日
特開 2011-91274 現像装置、現像方法及び記憶媒体 2011年 5月 6日
特開 2011-91096 試料台及びマイクロ波プラズマ処理装置 2011年 5月 6日

621 件中 361-375 件を表示

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2011-94238 2011-97028 2011-95484 2011-97798 2011-97101 2011-97063 2011-97029 2011-96689 2011-96687 2011-88068 2011-88247 2011-91323 2011-91373 2011-91274 2011-91096

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