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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第60位 712件
(2012年:第53位 714件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第45位 796件
(2012年:第37位 902件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2013-112845 | めっき処理装置、めっき処理方法および記憶媒体 | 2013年 6月10日 | |
特開 2013-112843 | めっき処理装置、めっき処理方法および記憶媒体 | 2013年 6月10日 | |
特開 2013-115118 | 生産処理システム、生産処理の制御装置、生産処理の制御方法、及び、生産処理の制御プログラム | 2013年 6月10日 | |
特開 2013-114328 | 処理装置群コントローラ、生産処理システム、処理装置群制御方法、及びプログラム | 2013年 6月10日 | |
特開 2013-115370 | 基板処理方法、この基板処理方法を実行するためのコンピュータプログラムが記録された記録媒体、および基板処理装置 | 2013年 6月10日 | |
特開 2013-115207 | 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 | 2013年 6月10日 | |
特開 2013-115124 | 接合装置、接合システム、接合方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2013年 6月10日 | |
特開 2013-110200 | 基板搬送システム | 2013年 6月 6日 | |
特開 2013-110385 | シリコン酸化物膜の成膜方法 | 2013年 6月 6日 | |
特開 2013-108100 | マグネトロンスパッタ装置 | 2013年 6月 6日 | |
特開 2013-108111 | 基板の処理方法及びテンプレート | 2013年 6月 6日 | |
特開 2013-110270 | 基板処理装置及び基板処理方法並びに基板処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 | 2013年 6月 6日 | |
特開 2013-110444 | 基板搬送装置の位置調整方法 | 2013年 6月 6日 | |
特開 2013-110440 | 電極ユニット及び基板処理装置 | 2013年 6月 6日 | |
特開 2013-110438 | 載置台およびそれを用いたプラズマ処理装置 | 2013年 6月 6日 |
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2013-112845 2013-112843 2013-115118 2013-114328 2013-115370 2013-115207 2013-115124 2013-110200 2013-110385 2013-108100 2013-108111 2013-110270 2013-110444 2013-110440 2013-110438
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