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東京エレクトロン株式会社

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  2013年 出願公開件数ランキング    第60位 712件 下降2012年:第53位 714件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第45位 796件 下降2012年:第37位 902件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2013-251556 化合物半導体の熱処理方法及びその装置 2013年12月12日
特開 2013-251379 エッチング方法、エッチング装置及び記憶媒体 2013年12月12日
特開 2013-249517 真空処理装置、真空処理方法及び記憶媒体 2013年12月12日
特開 2013-251361 半導体装置の製造方法およびアニール方法 2013年12月12日
特開 2013-251344 めっき処理方法、めっき処理装置および記憶媒体 2013年12月12日
特開 2013-249511 原料ガス供給装置、成膜装置、原料ガスの供給方法及び記憶媒体 2013年12月12日
特開 2013-247283 搬送機構、搬送方法及び処理システム 2013年12月 9日
特開 2013-247332 シリコン膜の形成方法およびその形成装置 2013年12月 9日
特開 2013-247159 パターン形成方法、パターン形成装置、及びコンピュータ可読記憶媒体 2013年12月 9日
特開 2013-245364 蒸着ヘッド 2013年12月 9日
特開 2013-247287 成膜方法 2013年12月 9日
特開 2013-247285 成膜方法 2013年12月 9日
特開 2013-247280 接合システム、接合方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2013年12月 9日
特開 2013-247292 接合システム、接合方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2013年12月 9日
特開 2013-243312 搬送装置 2013年12月 5日

712 件中 31-45 件を表示

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2013-251556 2013-251379 2013-249517 2013-251361 2013-251344 2013-249511 2013-247283 2013-247332 2013-247159 2013-245364 2013-247287 2013-247285 2013-247280 2013-247292 2013-243312

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