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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第62位 621件
(2010年:第57位 692件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第41位 739件
(2010年:第39位 580件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2011-35103 | 搬送装置及び処理システム | 2011年 2月17日 | |
特開 2011-35052 | プラズマ処理装置用電極及びプラズマ処理装置 | 2011年 2月17日 | |
特開 2011-35021 | 基板位置合わせ機構、それを用いた真空予備室および基板処理システム | 2011年 2月17日 | |
特開 2011-29230 | 塗布、現像装置 | 2011年 2月10日 | |
特開 2011-25220 | テンプレート処理装置、インプリントシステム、テンプレート処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2011年 2月10日 | |
特開 2011-29388 | 真空吸着パッド、搬送アーム及び基板搬送装置 | 2011年 2月10日 | |
特開 2011-29649 | ステージ | 2011年 2月10日 | |
特開 2011-29318 | 基板搬送装置 | 2011年 2月10日 | |
特開 2011-26111 | 位置ずれ防止装置、これを備えた基板保持具、基板搬送装置および基板搬送方法 | 2011年 2月10日 | |
特開 2011-29593 | 液処理装置 | 2011年 2月10日 | |
特開 2011-29416 | 平面アンテナ部材およびこれを備えたプラズマ処理装置 | 2011年 2月10日 | |
特開 2011-29284 | 成膜方法及び成膜装置 | 2011年 2月10日 | |
特開 2011-29256 | 成膜方法 | 2011年 2月10日 | |
特開 2011-26634 | 成膜装置及び成膜方法 | 2011年 2月10日 | |
再表 2009-44798 | プラズマ処理装置およびプラズマ密度分布の調整方法 | 2011年 2月10日 |
621 件中 541-555 件を表示
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2011-35103 2011-35052 2011-35021 2011-29230 2011-25220 2011-29388 2011-29649 2011-29318 2011-26111 2011-29593 2011-29416 2011-29284 2011-29256 2011-26634 2009-44798
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2月25日(火) -
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2月26日(水) -
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2月26日(水) - 東京 港区
2月26日(水) -
2月26日(水) - 千葉 船橋市
2月27日(木) -
2月27日(木) -
2月27日(木) - 東京 港区
2月27日(木) -
2月27日(木) - 東京 千代田区
2月25日(火) -
3月4日(火) - 東京 港区
3月4日(火) -
3月4日(火) -
3月4日(火) -
3月5日(水) -
3月5日(水) -
3月6日(木) -
3月6日(木) - 東京 品川区
3月6日(木) - 東京 港区
3月6日(木) -
3月7日(金) -
3月7日(金) - 東京 港区
3月7日(金) -
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3月4日(火) - 東京 港区
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