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東京エレクトロン株式会社

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  2011年 出願公開件数ランキング    第62位 621件 下降2010年:第57位 692件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第41位 739件 下降2010年:第39位 580件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2011-35103 搬送装置及び処理システム 2011年 2月17日
特開 2011-35052 プラズマ処理装置用電極及びプラズマ処理装置 2011年 2月17日
特開 2011-35021 基板位置合わせ機構、それを用いた真空予備室および基板処理システム 2011年 2月17日
特開 2011-29230 塗布、現像装置 2011年 2月10日
特開 2011-25220 テンプレート処理装置、インプリントシステム、テンプレート処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2011年 2月10日
特開 2011-29388 真空吸着パッド、搬送アーム及び基板搬送装置 2011年 2月10日
特開 2011-29649 ステージ 2011年 2月10日
特開 2011-29318 基板搬送装置 2011年 2月10日
特開 2011-26111 位置ずれ防止装置、これを備えた基板保持具、基板搬送装置および基板搬送方法 2011年 2月10日
特開 2011-29593 液処理装置 2011年 2月10日
特開 2011-29416 平面アンテナ部材およびこれを備えたプラズマ処理装置 2011年 2月10日
特開 2011-29284 成膜方法及び成膜装置 2011年 2月10日
特開 2011-29256 成膜方法 2011年 2月10日
特開 2011-26634 成膜装置及び成膜方法 2011年 2月10日
再表 2009-44798 プラズマ処理装置およびプラズマ密度分布の調整方法 2011年 2月10日

621 件中 541-555 件を表示

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2011-35103 2011-35052 2011-35021 2011-29230 2011-25220 2011-29388 2011-29649 2011-29318 2011-26111 2011-29593 2011-29416 2011-29284 2011-29256 2011-26634 2009-44798

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