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東京エレクトロン株式会社

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  2013年 出願公開件数ランキング    第60位 712件 下降2012年:第53位 714件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第45位 796件 下降2012年:第37位 902件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2013-38184 液処理装置 2013年 2月21日
特開 2013-38178 基板処理装置及び同基板処理装置の除去処理体並びに基板処理方法 2013年 2月21日
特開 2013-33815 処理装置 2013年 2月14日
特開 2013-33828 成膜方法 2013年 2月14日
特開 2013-33816 プラズマ処理装置 2013年 2月14日
特開 2013-32575 タングステン膜の成膜方法 2013年 2月14日
再表 2011-34057 プラズマ処理装置およびプラズマ処理装置用ガス供給機構 2013年 2月14日
再表 2011-33987 成膜方法、半導体素子の製造方法、絶縁膜および半導体素子 2013年 2月14日
特開 2013-33817 基板処理装置及び基板処理方法 2013年 2月14日
特開 2013-32938 パワーデバイス用のプローブカード 2013年 2月14日
特開 2013-34017 塗布、現像装置、塗布、現像方法及び記憶媒体 2013年 2月14日
特開 2013-33979 マイクロ波プラズマ処理装置 2013年 2月14日
特開 2013-33940 プラズマ処理装置 2013年 2月14日
特開 2013-33933 シリコン膜の形成方法およびその形成装置 2013年 2月14日
特開 2013-33925 洗浄方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体、洗浄装置及び剥離システム 2013年 2月14日

712 件中 601-615 件を表示

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2013-38184 2013-38178 2013-33815 2013-33828 2013-33816 2013-32575 2011-34057 2011-33987 2013-33817 2013-32938 2013-34017 2013-33979 2013-33940 2013-33933 2013-33925

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