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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第62位 621件
(2010年:第57位 692件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第41位 739件
(2010年:第39位 580件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2011-3864 | 基板搬送装置、基板搬送方法、塗布、現像装置及び記憶媒体 | 2011年 1月 6日 | |
特開 2011-3819 | 基板の処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び基板処理システム | 2011年 1月 6日 | |
特開 2011-3712 | 基板処理方法及び記憶媒体 | 2011年 1月 6日 | |
特開 2011-3688 | 基板処理方法、基板処理装置及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 | 2011年 1月 6日 | |
特開 2011-3687 | 多層配線の形成方法 | 2011年 1月 6日 | |
特開 2011-3601 | 基板処理システム用加熱装置の昇温制御方法、プログラム、コンピュータ記録媒体及び基板処理システム | 2011年 1月 6日 |
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2011-3864 2011-3819 2011-3712 2011-3688 2011-3687 2011-3601
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