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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第58位 686件 (2013年:第60位 712件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第48位 694件 (2013年:第45位 796件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5584808 | 基板搬送装置の位置調整方法 | 2014年 9月 3日 | |
特許 5582816 | カバー固定具及び誘導結合プラズマ処理装置 | 2014年 9月 3日 | |
特許 5583503 | 基板洗浄装置、およびこれを備える塗布現像装置 | 2014年 9月 3日 | |
特許 5584653 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2014年 9月 3日 | |
特許 5584517 | プラズマ処理装置及び半導体装置の製造方法 | 2014年 9月 3日 | |
特許 5582152 | 基板搬送装置、基板搬送方法及び記憶媒体 | 2014年 9月 3日 | |
特許 5583716 | レジストの光学特性を変化させる方法及び装置 | 2014年 9月 3日 | |
特許 5580908 | ガス供給装置、基板処理装置および基板処理方法 | 2014年 8月27日 | |
特許 5578865 | 誘導結合プラズマ処理装置のカバー固定具およびカバー固定装置 | 2014年 8月27日 | |
特許 5579009 | 成膜装置および成膜方法 | 2014年 8月27日 | |
特許 5580806 | 剥離装置、剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2014年 8月27日 | |
特許 5578675 | レジストパターン形成装置 | 2014年 8月27日 | |
特許 5580779 | 現像処理装置、現像処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2014年 8月27日 | |
特許 5577530 | 六フッ化硫黄(SF6)および炭化水素ガスを用いた反射防止層のパターニング方法 | 2014年 8月27日 | |
特許 5578782 | プラズマ処理方法及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 | 2014年 8月27日 |
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5584808 5582816 5583503 5584653 5584517 5582152 5583716 5580908 5578865 5579009 5580806 5578675 5580779 5577530 5578782
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11月25日(月) -
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11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
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12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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