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東京エレクトロン株式会社

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  2012年 出願公開件数ランキング    第53位 714件 上昇2011年:第62位 621件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第37位 902件 上昇2011年:第41位 739件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5065167 基板の処理方法及び基板の処理システム 2012年10月31日
特許 5061229 基板洗浄装置及び基板洗浄方法。 2012年10月31日
特許 5063520 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2012年10月31日
特許 5064319 プラズマエッチング方法、制御プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2012年10月31日
特許 5060412 異物検出方法、異物検出装置、異物検出システム及び記憶媒体 2012年10月31日
特許 5063817 基板処理装置 2012年10月31日
特許 5064331 洗浄ブラシ、基板洗浄装置及び基板洗浄方法 2012年10月31日
特許 5062806 群管理システム、プロセス情報管理装置、制御装置、およびプログラム 2012年10月31日
特許 5063103 基板処理装置、基板処理方法、プログラムおよび記録媒体 2012年10月31日
特許 5064119 真空引き方法及び記憶媒体 2012年10月31日
特許 5063741 熱処理装置及び熱処理方法 2012年10月31日
特許 5065071 塗布処理方法、塗布処理装置及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 2012年10月31日
特許 5062143 成膜装置 2012年10月31日
特許 5059792 プラズマ処理装置 2012年10月31日
特許 5062057 真空処理装置 2012年10月31日

902 件中 166-180 件を表示

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5065167 5061229 5063520 5064319 5060412 5063817 5064331 5062806 5063103 5064119 5063741 5065071 5062143 5059792 5062057

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