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東京エレクトロン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第58位 686件 上昇2013年:第60位 712件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第48位 694件 下降2013年:第45位 796件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5578782 プラズマ処理方法及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 2014年 8月27日
特許 5580844 エッチング方法 2014年 8月27日
特許 5579796 基板処理システム、基板検出装置および基板検出方法 2014年 8月27日
特許 5577532 DC/RFハイブリッド処理システム 2014年 8月27日
特許 5575934 接合装置及び接合システム 2014年 8月20日
特許 5573034 液処理装置及び液処理方法 2014年 8月20日
特許 5574929 色素吸着装置 2014年 8月20日
特許 5575558 処理装置 2014年 8月20日
特許 5573772 成膜方法及び成膜装置 2014年 8月20日
特許 5575600 温度測定方法、記憶媒体、プログラム 2014年 8月20日
特許 5575706 疎水化処理装置、疎水化処理方法、プログラム及びコンピュータ記録媒体。 2014年 8月20日
特許 5575299 成膜方法および成膜装置 2014年 8月20日
特許 5575691 基板処理装置、基板処理方法及びその基板処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体 2014年 8月20日
特許 5575286 MOCVD反応器用シャワーヘッド、MOCVD反応器、MOCVD装置及び洗浄方法 2014年 8月20日
特許 5573666 原料供給装置及び成膜装置 2014年 8月20日

694 件中 166-180 件を表示

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5578782 5580844 5579796 5577532 5575934 5573034 5574929 5575558 5573772 5575600 5575706 5575299 5575691 5575286 5573666

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