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東京エレクトロン株式会社
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■ 2012年 出願公開件数ランキング 第53位 714件
（
2011年：第62位 621件）
■ 2012年 特許取得件数ランキング 第37位 902件
（2011年：第41位 739件）
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東京エレクトロン株式会社の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5054867 | ハロゲン化タンタル前駆物質からのＴａＮフイルムのＰＥＣＶＤ | 2012年10月24日 | 共同出願 |
| 特許 5058848 | 搬送アーム洗浄装置、搬送アーム洗浄方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2012年10月24日 | |
| 特許 5059371 | 気化器および成膜装置 | 2012年10月24日 | |
| 特許 5059320 | 基板処理装置のクリーニング方法，基板処理装置，プログラム，プログラムを記録した記録媒体 | 2012年10月24日 | |
| 特許 5057328 | 光学的に調節可能なソフトマスクプロファイルライブラリを用いる方法及び装置 | 2012年10月24日 | |
| 特許 5059573 | 基板保持具、基板搬送装置および基板処理システム | 2012年10月24日 | |
| 特許 5058085 | 基板洗浄装置 | 2012年10月24日 | |
| 特許 5057647 | 半導体装置の製造方法および半導体装置の製造装置 | 2012年10月24日 | |
| 特許 5058478 | 半導体装置の製造方法、プラズマ処理方法、半導体装置の製造装置、制御プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2012年10月24日 | |
| 特許 5055756 | 熱処理装置及び記憶媒体 | 2012年10月24日 | |
| 特許 5057816 | プラズマ処理装置 | 2012年10月24日 | |
| 特許 5059450 | 基板載置台及び基板処理装置 | 2012年10月24日 | |
| 特許 5059054 | 基板処理システム、基板検出装置および基板検出方法 | 2012年10月24日 | |
| 特許 5056735 | 成膜装置 | 2012年10月24日 | |
| 特許 5058115 | ガス処理装置 | 2012年10月24日 |
902 件中 196-210 件を表示
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5054867 5058848 5059371 5059320 5057328 5059573 5058085 5057647 5058478 5055756 5057816 5059450 5059054 5056735 5058115
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