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東京エレクトロン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第58位 686件 上昇2013年:第60位 712件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第48位 694件 下降2013年:第45位 796件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5566100 成膜システム内の粒子コンタミネーションを抑制する方法および機器 2014年 8月 6日 共同出願
特許 5568433 水処理装置及び水処理方法 2014年 8月 6日
特許 5566498 誘導結合プラズマ処理装置、プラズマ処理方法及び記憶媒体 2014年 8月 6日
特許 5565242 縦型熱処理装置 2014年 8月 6日
特許 5565422 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2014年 8月 6日
特許 5568495 熱処理装置 2014年 8月 6日
特許 5567392 プラズマ処理装置 2014年 8月 6日
特許 5566265 基板処理装置、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び基板の搬送方法 2014年 8月 6日
特許 5568340 プラズマエッチング方法及びプラズマエッチング装置 2014年 8月 6日
特許 5568608 プラズマ処理装置 2014年 8月 6日
特許 5566117 静電吸着電極およびその製造方法、ならびに基板処理装置 2014年 8月 6日
特許 5565188 ヒータ装置 2014年 8月 6日
特許 5565482 液処理方法及びフィルタ内の気体の除去装置 2014年 8月 6日
特許 5561137 液処理装置、液処理方法及び記憶媒体 2014年 7月30日
特許 5562712 半導体製造装置用のガス供給装置 2014年 7月30日

694 件中 196-210 件を表示

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5566100 5568433 5566498 5565242 5565422 5568495 5567392 5566265 5568340 5568608 5566117 5565188 5565482 5561137 5562712

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