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東京エレクトロン株式会社

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  2012年 出願公開件数ランキング    第53位 714件 上昇2011年:第62位 621件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第37位 902件 上昇2011年:第41位 739件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5057816 プラズマ処理装置 2012年10月24日
特許 5050761 被処理体の処理システム及び被処理体の熱処理方法 2012年10月17日
特許 5051875 成膜装置および成膜方法 2012年10月17日 共同出願
特許 5053542 プローブピンとプローブピンの製造方法 2012年10月17日 共同出願
特許 5048942 プローブピン,プローブカード及びプローブ装置 2012年10月17日 共同出願
特許 5051870 発光素子の製造装置および発光素子の製造方法 2012年10月17日 共同出願
特許 5051869 発光素子および発光素子の製造方法 2012年10月17日 共同出願
特許 5048810 熱処理装置及び熱処理方法 2012年10月17日
特許 5050018 塗布現像装置及び塗布現像方法 2012年10月17日
特許 5048552 基板洗浄装置及び基板処理装置 2012年10月17日
特許 5049303 熱処理装置、熱処理装置の温度調整方法、及び、プログラム 2012年10月17日
特許 5050369 処理装置 2012年10月17日
特許 5049302 熱処理装置、熱処理装置の温度調整方法、及び、プログラム 2012年10月17日
特許 5049443 熱処理システム 2012年10月17日
特許 5048352 基板処理方法及び基板処理装置 2012年10月17日

902 件中 211-225 件を表示

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5057816 5050761 5051875 5053542 5048942 5051870 5051869 5048810 5050018 5048552 5049303 5050369 5049302 5049443 5048352

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