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東京エレクトロン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第58位 686件 上昇2013年:第60位 712件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第48位 694件 下降2013年:第45位 796件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5559988 シリコン酸化膜用成膜原料およびそれを用いたシリコン酸化膜の成膜方法 2014年 7月23日
特許 5557942 基板搬送装置 2014年 7月23日
特許 5558452 貼り合わせ装置 2014年 7月23日
特許 5560144 半導体装置の製造方法 2014年 7月23日
特許 5554469 薄膜形成装置の洗浄方法、薄膜形成方法及び薄膜形成装置 2014年 7月23日
特許 5554099 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2014年 7月23日
特許 5559823 デジタル/アナログコンバータ 2014年 7月23日
特許 5554047 プラズマ処理装置 2014年 7月23日
特許 5555743 基板を化学的処理する処理システムおよび方法 2014年 7月23日
特許 5559736 基板加熱装置、これを備える塗布現像装置、及び基板加熱方法 2014年 7月23日
特許 5559505 プラズマ処理装置 2014年 7月23日
特許 5552316 プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 2014年 7月16日
特許 5551583 金属系膜の成膜方法および記憶媒体 2014年 7月16日
特許 5550566 半導体デバイスのCuメタライゼーションへ選択的低温Ru堆積を統合する方法 2014年 7月16日
特許 5549552 真空処理装置の組み立て方法及び真空処理装置 2014年 7月16日

694 件中 226-240 件を表示

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5559988 5557942 5558452 5560144 5554469 5554099 5559823 5554047 5555743 5559736 5559505 5552316 5551583 5550566 5549552

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