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東京エレクトロン株式会社
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■ 2012年 出願公開件数ランキング 第53位 714件
（
2011年：第62位 621件）
■ 2012年 特許取得件数ランキング 第37位 902件
（2011年：第41位 739件）
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東京エレクトロン株式会社の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5045218 | 液処理装置、液処理方法及び記憶媒体 | 2012年10月10日 | |
| 特許 5041009 | 熱処理装置、熱処理方法及び記憶媒体 | 2012年10月 3日 | |
| 特許 5039120 | プラズマ処理装置用のアルミナ部材及びプラズマ処理装置用のアルミナ部材の製造方法 | 2012年10月 3日 | 共同出願 |
| 特許 5042225 | 熱処理システムのビルトイン・セルフテスト | 2012年10月 3日 | 共同出願 |
| 特許 5039457 | 基板洗浄装置 | 2012年10月 3日 | |
| 特許 5040213 | 熱処理装置、熱処理方法及び記憶媒体 | 2012年10月 3日 | |
| 特許 5042038 | 半導体装置を製造する方法 | 2012年10月 3日 | |
| 特許 5041944 | レジストの光学特性を変化させる方法及び装置 | 2012年10月 3日 | |
| 特許 5041713 | エッチング方法およびエッチング装置、ならびにコンピュータ読取可能な記憶媒体 | 2012年10月 3日 | |
| 特許 5038567 | エッチング方法 | 2012年10月 3日 | |
| 特許 5042950 | 縦型熱処理装置及び基板支持具 | 2012年10月 3日 | |
| 特許 5042661 | プラズマ処理装置及びフィルタユニット | 2012年10月 3日 | |
| 特許 5041016 | 熱処理装置、熱処理方法及び記憶媒体 | 2012年10月 3日 | |
| 特許 5040119 | 耐環境部材、半導体製造装置及び耐環境部材の製造方法 | 2012年10月 3日 | |
| 特許 5036290 | 基板処理装置および基板搬送方法、ならびにコンピュータプログラム | 2012年 9月26日 |
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5045218 5041009 5039120 5042225 5039457 5040213 5042038 5041944 5041713 5038567 5042950 5042661 5041016 5040119 5036290
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