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東京エレクトロン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第58位 686件 上昇2013年:第60位 712件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第48位 694件 下降2013年:第45位 796件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5551583 金属系膜の成膜方法および記憶媒体 2014年 7月16日
特許 5550566 半導体デバイスのCuメタライゼーションへ選択的低温Ru堆積を統合する方法 2014年 7月16日
特許 5549761 熱処理装置のクリーニング方法 2014年 7月16日
特許 5549754 成膜装置 2014年 7月16日
特許 5549552 真空処理装置の組み立て方法及び真空処理装置 2014年 7月16日
特許 5551947 溝用シール材 2014年 7月16日
特許 5552410 水精製システムの使用に対する課金方法及び記憶媒体 2014年 7月16日
特許 5552559 剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2014年 7月16日
特許 5552466 接合方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び接合システム 2014年 7月16日
特許 5552462 剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2014年 7月16日
特許 5551946 表面平坦化方法 2014年 7月16日
特許 5551420 基板処理装置及びその電極間距離の測定方法並びにプログラムを記憶する記憶媒体 2014年 7月16日
特許 5551346 チャンバ及び処理装置 2014年 7月16日
特許 5551343 誘導結合プラズマ処理装置 2014年 7月16日
特許 5549441 保持体機構、ロードロック装置、処理装置及び搬送機構 2014年 7月16日

694 件中 241-255 件を表示

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5551583 5550566 5549761 5549754 5549552 5551947 5552410 5552559 5552466 5552462 5551946 5551420 5551346 5551343 5549441

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