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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第58位 686件
(2013年:第60位 712件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第48位 694件
(2013年:第45位 796件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5547147 | 接合装置、接合システム、接合方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2014年 7月 9日 | |
特許 5546472 | 液処理装置、液処理方法及びその液処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体 | 2014年 7月 9日 | |
特許 5544893 | 基板処理方法及び記憶媒体 | 2014年 7月 9日 | |
特許 5544343 | 成膜装置 | 2014年 7月 9日 | |
特許 5543633 | 基板洗浄システム、基板洗浄方法および記憶媒体 | 2014年 7月 9日 | |
特許 5541311 | 基板洗浄方法、基板洗浄装置、現像方法、現像装置及び記憶媒体 | 2014年 7月 9日 | |
特許 5541251 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 | 2014年 7月 9日 | |
特許 5534979 | 基板処理装置及び基板処理装置のクリーニング方法 | 2014年 7月 2日 | |
特許 5538959 | 基板の洗浄方法及び半導体製造装置 | 2014年 7月 2日 | 共同出願 |
特許 5539449 | プログラム、熱処理装置及び熱処理装置の動作検出方法 | 2014年 7月 2日 | |
特許 5538951 | 成膜方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2014年 7月 2日 | |
特許 5538613 | 接合装置及び接合システム | 2014年 7月 2日 | |
特許 5538469 | 基板処理装置及び基板処理方法並びに基板処理装置の用力供給装置及び基板処理装置の用力供給方法 | 2014年 7月 2日 | |
特許 5538282 | 接合装置、接合方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2014年 7月 2日 | |
特許 5538128 | 排気方法およびガス処理装置 | 2014年 7月 2日 |
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5547147 5546472 5544893 5544343 5543633 5541311 5541251 5534979 5538959 5539449 5538951 5538613 5538469 5538282 5538128
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