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東京エレクトロン株式会社

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  2013年 特許取得件数ランキング    第45位 796件 下降2012年:第37位 902件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5374853 プラズマ処理装置 2013年12月25日
特許 5379732 基板処理装置 2013年12月25日
特許 5377587 アンテナ、プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2013年12月25日
特許 5379773 めっき処理装置及びめっき処理方法並びにめっき処理プログラムを記録した記録媒体 2013年12月25日
特許 5378449 塗布、現像装置 2013年12月25日
特許 5375852 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 2013年12月25日
特許 5374039 基板処理方法、基板処理装置及び記憶媒体 2013年12月25日
特許 5376023 載置台構造及び熱処理装置 2013年12月25日
特許 5377463 加熱処理装置 2013年12月25日
特許 5375793 液処理装置 2013年12月25日
特許 5375853 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 2013年12月25日
特許 5378448 塗布、現像装置及びその方法 2013年12月25日
特許 5377915 検査装置及び検査方法 2013年12月25日
特許 5373669 半導体装置の製造方法 2013年12月18日
特許 5372895 基板処理方法 2013年12月18日

794 件中 16-30 件を表示

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5374853 5379732 5377587 5379773 5378449 5375852 5374039 5376023 5377463 5375793 5375853 5378448 5377915 5373669 5372895

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