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東京エレクトロン株式会社

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  2013年 出願公開件数ランキング    第60位 712件 下降2012年:第53位 714件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第45位 796件 下降2012年:第37位 902件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5375793 液処理装置 2013年12月25日
特許 5377587 アンテナ、プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2013年12月25日
特許 5378449 塗布、現像装置 2013年12月25日
特許 5375871 液処理装置、液処理方法、コンピュータプログラムを格納した記憶媒体 2013年12月25日
特許 5374961 塗布、現像装置、及び塗布、現像装置の搬送アーム洗浄方法、並びに記憶媒体 2013年12月25日
特許 5377463 加熱処理装置 2013年12月25日
特許 5378448 塗布、現像装置及びその方法 2013年12月25日
特許 5375118 レシピの作成装置、この作成方法、処理装置、このメンテナンス方法、処理装置のインターロックシステム及びこのインターロック方法 2013年12月25日
特許 5374079 検査用接触構造体 2013年12月25日
特許 5375852 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 2013年12月25日
特許 5379589 真空吸着パッド、搬送アーム及び基板搬送装置 2013年12月25日
特許 5374853 プラズマ処理装置 2013年12月25日
特許 5378586 プライミング処理方法及びプライミング処理装置 2013年12月25日
特許 5370381 液処理方法、液処理装置及び記憶媒体 2013年12月18日
特許 5372895 基板処理方法 2013年12月18日

794 件中 16-30 件を表示

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5375793 5377587 5378449 5375871 5374961 5377463 5378448 5375118 5374079 5375852 5379589 5374853 5378586 5370381 5372895

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