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東京エレクトロン株式会社

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  2012年 出願公開件数ランキング    第53位 714件 上昇2011年:第62位 621件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第37位 902件 上昇2011年:第41位 739件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5026654 半導体処理装置で使用され得る可変ギャップストップ 2012年 9月12日
特許 5026363 エッチング量算出方法、記憶媒体及びエッチング量算出装置 2012年 9月12日
特許 5026351 処理装置 2012年 9月12日
特許 5025508 ポリシリコン膜の除去方法および記憶媒体 2012年 9月12日
特許 5025458 クリーニング方法、制御プログラム、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体およびプラズマ処理装置 2012年 9月12日
特許 5025231 基板搬送処理装置 2012年 9月12日
特許 5023128 塗布現像装置及び塗布現像方法 2012年 9月12日
特許 5020230 Ti系膜の成膜方法および記憶媒体 2012年 9月 5日
特許 5017913 熱処理装置及び熱処理方法 2012年 9月 5日
特許 5016294 基板処理装置及び該装置の分析方法 2012年 9月 5日
特許 5020261 検査方法、検査装置及びプログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 2012年 9月 5日
特許 5018353 プローバ 2012年 9月 5日
特許 5018183 プローブ装置、プロービング方法及び記憶媒体 2012年 9月 5日
特許 5018690 塗布、現像方法及び塗布、現像装置。 2012年 9月 5日
特許 5020605 上位制御装置、下位制御装置、画面の操作権付与方法および画面の操作権付与プログラムを記憶した記憶媒体 2012年 9月 5日

902 件中 301-315 件を表示

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5026654 5026363 5026351 5025508 5025458 5025231 5023128 5020230 5017913 5016294 5020261 5018353 5018183 5018690 5020605

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