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東京エレクトロン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第58位 686件 上昇2013年:第60位 712件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第48位 694件 下降2013年:第45位 796件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5528244 プラズマ処理方法および記憶媒体 2014年 6月25日
特許 5528106 乾式非プラズマ処理システム及び当該システムの使用方法 2014年 6月25日
特許 5527976 多変量解析を用いた半導体処理システムからの計測データの変換方法 2014年 6月25日
特許 5524154 液処理装置及び液処理方法 2014年 6月18日
特許 5522144 加熱装置、加熱方法及び記憶媒体 2014年 6月18日
特許 5523989 量子ドット形成方法及びこれを実施するためのプログラムを記憶する記憶媒体並びに基板処理装置 2014年 6月18日
特許 5527197 成膜装置 2014年 6月18日
特許 5527490 プラズマ処理装置用誘電体窓、およびプラズマ処理装置 2014年 6月18日
特許 5527106 真空処理装置 2014年 6月18日
特許 5526876 加熱装置及びアニール装置 2014年 6月18日
特許 5525504 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2014年 6月18日
特許 5524139 基板位置検出装置、これを備える成膜装置、および基板位置検出方法 2014年 6月18日
特許 5522887 プラズマ処理装置 2014年 6月18日
特許 5522028 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2014年 6月18日
特許 5527075 搬送機構 2014年 6月18日

694 件中 301-315 件を表示

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5528244 5528106 5527976 5524154 5522144 5523989 5527197 5527490 5527106 5526876 5525504 5524139 5522887 5522028 5527075

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