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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第62位 621件
(2010年:第57位 692件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第41位 739件
(2010年:第39位 580件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特許 4747691 | 半導体装置の製造方法 | 2011年 8月17日 | |
特許 4750820 | プローブカード | 2011年 8月17日 | |
特許 4748803 | 基板処理装置、基板処理装置における被測定物の物理量測定方法及び記憶媒体 | 2011年 8月17日 | |
特許 4748740 | 光学式異物検出装置およびこれを搭載した処理液塗布装置 | 2011年 8月17日 | |
特許 4751538 | 処理システム | 2011年 8月17日 | |
特許 4752782 | 加熱装置及び加熱方法 | 2011年 8月17日 | |
特許 4751460 | 基板搬送装置及び基板処理システム | 2011年 8月17日 | |
特許 4750176 | 表面処理方法及びその装置 | 2011年 8月17日 | |
特許 4749683 | エッチング方法 | 2011年 8月17日 | |
特許 4748742 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2011年 8月17日 | |
特許 4748683 | 液処理装置 | 2011年 8月17日 | |
特許 4748263 | 塗布、現像装置 | 2011年 8月17日 | |
特許 4748042 | 熱処理方法、熱処理装置及び記憶媒体 | 2011年 8月17日 | |
特許 4748005 | 液処理装置、液処理方法及び記憶媒体。 | 2011年 8月17日 | |
特許 4744175 | 基板処理装置 | 2011年 8月10日 |
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4747691 4750820 4748803 4748740 4751538 4752782 4751460 4750176 4749683 4748742 4748683 4748263 4748042 4748005 4744175
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