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東京エレクトロン株式会社

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  2012年 特許取得件数ランキング    第37位 902件 上昇2011年:第41位 739件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5015717 基板洗浄装置 2012年 8月29日
特許 5010875 洗浄装置及び洗浄方法 2012年 8月29日
特許 5013987 基板処理装置および基板搬送装置 2012年 8月29日
特許 5010019 ステージ 2012年 8月29日
特許 5013979 同軸ケーブルの異常検知システムとその異常検知方法、及びその異常検知システムを備えた処理装置 2012年 8月29日
特許 5011382 バルブおよび該バルブを備えた処理装置 2012年 8月29日
特許 5011355 成膜方法 2012年 8月29日
特許 5010842 試験対象物の保護回路、試験対象物の保護方法、試験装置、及び試験方法 2012年 8月29日
特許 5015763 基板洗浄方法、基板洗浄装置、プログラム、および、プログラム記録媒体 2012年 8月29日
特許 5012393 塗布、現像装置、塗布、現像方法及び記憶媒体 2012年 8月29日
特許 5011345 レジストパターンのスリミング処理方法 2012年 8月29日
特許 5015870 基板処理装置、保持部材および基板処理方法 2012年 8月29日
特許 5015847 基板処理装置、基板処理方法、プログラムならびに記録媒体 2012年 8月29日
特許 5015517 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2012年 8月29日
特許 5015134 基板から酸化物を除去する方法 2012年 8月29日

902 件中 331-345 件を表示

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5015717 5010875 5013987 5010019 5013979 5011382 5011355 5010842 5015763 5012393 5011345 5015870 5015847 5015517 5015134

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