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東京エレクトロン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第58位 686件 上昇2013年:第60位 712件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第48位 694件 下降2013年:第45位 796件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5513413 成膜装置およびガス吐出部材 2014年 6月 4日
特許 5511767 蒸着装置 2014年 6月 4日
特許 5514413 プラズマエッチング方法 2014年 6月 4日
特許 5514310 プラズマ処理方法 2014年 6月 4日
特許 5513104 プラズマ処理装置 2014年 6月 4日
特許 5512560 液処理装置 2014年 6月 4日
特許 5512424 基板洗浄装置および基板洗浄方法 2014年 6月 4日
特許 5508737 静電チャック及びプラズマ処理装置 2014年 6月 4日
特許 5507523 塗布処理装置、塗布処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2014年 5月28日
特許 5502788 浮上式塗布装置 2014年 5月28日
特許 5505384 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 2014年 5月28日
特許 5503602 処理液供給装置、処理液供給方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2014年 5月28日
特許 5507909 成膜方法 2014年 5月28日
特許 5504793 熱処理装置及び冷却方法 2014年 5月28日
特許 5501718 基板の異常載置状態の検知方法、基板処理方法、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体および基板処理装置 2014年 5月28日

694 件中 346-360 件を表示

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5513413 5511767 5514413 5514310 5513104 5512560 5512424 5508737 5507523 5502788 5505384 5503602 5507909 5504793 5501718

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