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東京エレクトロン株式会社

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  2011年 特許取得件数ランキング    第41位 739件 下降2010年:第39位 580件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4727500 基板搬送装置、基板処理システムおよび基板搬送方法 2011年 7月20日
特許 4727266 基板処理方法および記録媒体 2011年 7月20日
特許 4729056 真空プローブ装置のための検査ステージ 2011年 7月20日
特許 4727948 プローブカードに用いられる積層基板 2011年 7月20日
特許 4729884 プラズマエッチング方法 2011年 7月20日
特許 4727479 プラズマ処理装置及びプラズマ内の高周波電流量の測定方法 2011年 7月20日
特許 4727171 エッチング方法 2011年 7月20日
特許 4727170 プラズマ処理方法、および後処理方法 2011年 7月20日
特許 4726070 基板処理装置、装置検査方法、装置検査プログラム、及びそのプログラムを記録した記録媒体 2011年 7月20日
特許 4727085 基板処理装置および処理方法 2011年 7月20日 共同出願
特許 4724334 無人搬送車 2011年 7月13日 共同出願
特許 4721247 プローブ方法及びプローブ装置 2011年 7月13日 共同出願
特許 4720812 塗布膜除去方法 2011年 7月13日
特許 4723001 基板処理装置、基板処理方法、および排液カップの洗浄方法 2011年 7月13日
特許 4722570 基板洗浄方法,記録媒体及び基板洗浄装置 2011年 7月13日

739 件中 391-405 件を表示

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4727500 4727266 4729056 4727948 4729884 4727479 4727171 4727170 4726070 4727085 4724334 4721247 4720812 4723001 4722570

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