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東京エレクトロン株式会社

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  2011年 特許取得件数ランキング    第41位 739件 下降2010年:第39位 580件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4721289 基板処理装置 2011年 7月13日
特許 4722876 金属酸化膜の形成方法 2011年 7月13日
特許 4720464 成膜方法及び成膜装置並びに記憶媒体 2011年 7月13日
特許 4720266 成膜方法、成膜装置及びコンピュータプログラム 2011年 7月13日
特許 4720029 枚葉式の熱処理装置 2011年 7月13日
特許 4720019 冷却機構及び処理装置 2011年 7月13日
特許 4725650 プローブ装置 2011年 7月13日
特許 4723631 現像処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び現像処理装置 2011年 7月13日
特許 4724353 半導体基板のための高圧処理チャンバー 2011年 7月13日
特許 4723513 化学的酸化物除去(ChemicalOxideRemoval)システムの操作方法 2011年 7月13日
特許 4723503 高k誘電体材料をエッチングするための方法とシステム 2011年 7月13日
特許 4722725 処理方法およびプラズマエッチング方法 2011年 7月13日
特許 4722550 半導体装置の製造方法 2011年 7月13日
特許 4718061 液処理装置および液処理方法ならびに現像処理装置 2011年 7月 6日
特許 4718272 レニウム系膜の成膜方法、ゲート電極の形成方法、半導体装置の製造方法、およびコンピュータ読取可能な記憶媒体 2011年 7月 6日

739 件中 406-420 件を表示

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4721289 4722876 4720464 4720266 4720029 4720019 4725650 4723631 4724353 4723513 4723503 4722725 4722550 4718061 4718272

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