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東京エレクトロン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第58位 686件 上昇2013年:第60位 712件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第48位 694件 下降2013年:第45位 796件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5638477 現像処理方法、現像処理装置、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2014年12月10日
特許 5638413 マスクパターンの形成方法 2014年12月10日
特許 5638238 フッ素及び水素を使用する順次の酸化物の取り除き 2014年12月10日
特許 5638682 プラズマ処理装置、プラズマ処理方法及び記憶媒体 2014年12月10日
特許 5639963 基板処理装置及び基板処理方法並びに基板処理プログラムを記録した記録媒体 2014年12月10日
特許 5638017 基板の表面改質方法、コンピュータ記憶媒体及び基板の表面改質装置 2014年12月10日
特許 5634953 基板洗浄方法、基板洗浄装置および記憶媒体 2014年12月 3日
特許 5635452 基板処理システム 2014年12月 3日
特許 5634341 めっき処理装置、めっき処理方法および記憶媒体 2014年12月 3日
特許 5633928 深溝ライナ除去方法 2014年12月 3日
特許 5634381 基板洗浄方法、基板洗浄装置、及びコンピュータ可読記憶媒体 2014年12月 3日
特許 5636486 多層/多入力/多出力(MLMIMO)モデル及び当該モデルの使用方法 2014年12月 3日
特許 5635019 剥離装置、剥離システム、剥離方法および剥離プログラム 2014年12月 3日
特許 5635164 成膜方法および成膜装置 2014年12月 3日
特許 5632240 微細パターンの形成方法 2014年11月26日

694 件中 31-45 件を表示

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5638477 5638413 5638238 5638682 5639963 5638017 5634953 5635452 5634341 5633928 5634381 5636486 5635019 5635164 5632240

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