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東京エレクトロン株式会社

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  2011年 出願公開件数ランキング    第62位 621件 下降2010年:第57位 692件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第41位 739件 下降2010年:第39位 580件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4714185 ガス処理装置 2011年 6月29日
特許 4713483 基板上にリンス溶液を分配する方法と装置。 2011年 6月29日
特許 4712462 基板処理監視装置、基板処理監視システム、基板処理監視プログラム及び記録媒体 2011年 6月29日
特許 4712343 熱処理装置、熱処理方法、プログラム及び記録媒体 2011年 6月29日
特許 4707686 塗布膜形成装置及び塗布膜形成方法 2011年 6月22日
特許 4705517 基板洗浄方法、基板洗浄装置、プログラム、および記録媒体 2011年 6月22日
特許 4709192 プラズマ処理装置 2011年 6月22日
特許 4708705 処理装置,ガス放電抑制部材 2011年 6月22日
特許 4707749 基板交換方法及び基板処理装置 2011年 6月22日
特許 4707588 プラズマ処理装置及びそれに用いられる電極 2011年 6月22日
特許 4705490 ダイヤフラム弁および基板処理装置 2011年 6月22日
特許 4709047 基板処理装置及び側壁部品 2011年 6月22日
特許 4708465 半導体装置の製造方法及び半導体装置の製造装置 2011年 6月22日
特許 4708243 液処理装置および液処理方法ならびにコンピュータ読取可能な記憶媒体 2011年 6月22日
特許 4707421 処理装置,処理装置の消耗部品管理方法,処理システム,処理システムの消耗部品管理方法 2011年 6月22日

739 件中 436-450 件を表示

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4714185 4713483 4712462 4712343 4707686 4705517 4709192 4708705 4707749 4707588 4705490 4709047 4708465 4708243 4707421

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