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東京エレクトロン株式会社

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  2011年 特許取得件数ランキング    第41位 739件 下降2010年:第39位 580件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4697878 プロセス情報管理装置、およびプログラム 2011年 6月 8日
特許 4697877 プロセス情報管理装置、およびプログラム 2011年 6月 8日
特許 4696373 処理システム及び被処理体の搬送方法 2011年 6月 8日
特許 4695606 被処理基板の載置装置におけるフォーカスリングの熱伝導改善方法 2011年 6月 8日
特許 4695106 チャックトップの高さを求める方法及びこの方法を記録したプログラム記録媒体 2011年 6月 8日
特許 4694843 半導体製作プロセスの監視とコンロトールのための装置 2011年 6月 8日
特許 4694596 マイクロ波プラズマ処理装置及びマイクロ波の給電方法 2011年 6月 8日
特許 4690308 高温水素含有プラズマによるチャンバ及びウェーハ表面から物質を除去する方法及び装置 2011年 6月 1日 共同出願
特許 4693175 加圧式処理液供給装置 2011年 6月 1日
特許 4692997 処理装置及び処理方法 2011年 6月 1日
特許 4690368 基板加熱装置および基板加熱方法 2011年 6月 1日
特許 4692341 保護膜除去装置、薬液の回収方法及び記憶媒体 2011年 6月 1日
特許 4688223 気液分離装置 2011年 5月25日
特許 4686867 プラズマ処理装置 2011年 5月25日
特許 4689563 プラズマ処理装置 2011年 5月25日

739 件中 481-495 件を表示

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4697878 4697877 4696373 4695606 4695106 4694843 4694596 4690308 4693175 4692997 4690368 4692341 4688223 4686867 4689563

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