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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第62位 621件
(2010年:第57位 692件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第41位 739件
(2010年:第39位 580件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 4697878 | プロセス情報管理装置、およびプログラム | 2011年 6月 8日 | |
特許 4697877 | プロセス情報管理装置、およびプログラム | 2011年 6月 8日 | |
特許 4696373 | 処理システム及び被処理体の搬送方法 | 2011年 6月 8日 | |
特許 4695606 | 被処理基板の載置装置におけるフォーカスリングの熱伝導改善方法 | 2011年 6月 8日 | |
特許 4695106 | チャックトップの高さを求める方法及びこの方法を記録したプログラム記録媒体 | 2011年 6月 8日 | |
特許 4694843 | 半導体製作プロセスの監視とコンロトールのための装置 | 2011年 6月 8日 | |
特許 4694596 | マイクロ波プラズマ処理装置及びマイクロ波の給電方法 | 2011年 6月 8日 | |
特許 4690308 | 高温水素含有プラズマによるチャンバ及びウェーハ表面から物質を除去する方法及び装置 | 2011年 6月 1日 | 共同出願 |
特許 4693175 | 加圧式処理液供給装置 | 2011年 6月 1日 | |
特許 4692997 | 処理装置及び処理方法 | 2011年 6月 1日 | |
特許 4690368 | 基板加熱装置および基板加熱方法 | 2011年 6月 1日 | |
特許 4692341 | 保護膜除去装置、薬液の回収方法及び記憶媒体 | 2011年 6月 1日 | |
特許 4688223 | 気液分離装置 | 2011年 5月25日 | |
特許 4686867 | プラズマ処理装置 | 2011年 5月25日 | |
特許 4689563 | プラズマ処理装置 | 2011年 5月25日 |
739 件中 481-495 件を表示
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4697878 4697877 4696373 4695606 4695106 4694843 4694596 4690308 4693175 4692997 4690368 4692341 4688223 4686867 4689563
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特許制度に詳しい方にこそ知って欲しい意匠権の使い方 ~コスパの高い意匠権を使って事業を守る方法を、特許権と比較して解説~
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