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東京エレクトロン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第58位 686件 上昇2013年:第60位 712件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第48位 694件 下降2013年:第45位 796件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5457381 現像処理装置及び現像処理方法 2014年 4月 2日
特許 5462897 半導体装置の製造方法 2014年 4月 2日
特許 5461759 プラズマ処理装置、プラズマ処理方法及び記憶媒体 2014年 4月 2日
特許 5460982 弁体、粒子進入阻止機構、排気制御装置及び基板処理装置 2014年 4月 2日
特許 5460789 基板処理装置 2014年 4月 2日
特許 5460641 基板洗浄装置及び基板洗浄方法並びに基板洗浄プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 2014年 4月 2日
特許 5460633 基板液処理装置及び基板液処理方法並びに基板液処理プログラムを記録した記録媒体 2014年 4月 2日
特許 5460475 基板液処理装置 2014年 4月 2日
特許 5460011 窒化珪素膜の成膜方法、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体およびプラズマCVD装置 2014年 4月 2日
特許 5459907 基板載置装置の評価装置、及びその評価方法、並びにそれに用いる評価用基板 2014年 4月 2日
特許 5459279 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2014年 4月 2日
特許 5459185 液処理装置、液処理方法及び記憶媒体 2014年 4月 2日
特許 5451793 温度センサ及び熱処理装置 2014年 3月26日 共同出願
特許 5454407 液処理装置及び液処理方法 2014年 3月26日
特許 5454203 塗布方法及び塗布装置 2014年 3月26日

694 件中 481-495 件を表示

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5457381 5462897 5461759 5460982 5460789 5460641 5460633 5460475 5460011 5459907 5459279 5459185 5451793 5454407 5454203

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