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東京エレクトロン株式会社

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  2011年 出願公開件数ランキング    第62位 621件 下降2010年:第57位 692件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第41位 739件 下降2010年:第39位 580件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4687534 基板の載置機構及び基板処理装置 2011年 5月25日
特許 4686887 成膜方法 2011年 5月25日
特許 4689324 成膜装置、成膜方法および記録媒体 2011年 5月25日
特許 4688764 基板処理装置の載置台除電方法 2011年 5月25日
特許 4688637 基板処理装置及びバッチ編成装置並びにバッチ編成方法及びバッチ編成プログラム 2011年 5月25日
特許 4687682 塗布、現像装置及びその方法並びに記憶媒体 2011年 5月25日
特許 4684408 処理装置 2011年 5月18日
特許 4685559 プローブカードと載置台との平行度調整方法及び検査用プログラム記憶媒体並びに検査装置 2011年 5月18日
特許 4684805 プローブ装置及び被検査体とプローブとの接触圧の調整方法 2011年 5月18日
特許 4685584 塗布、現像装置 2011年 5月18日
特許 4684858 リンス処理方法、現像処理方法、現像処理装置、制御プログラムおよびコンピュータ読取可能な記憶媒体 2011年 5月18日
特許 4685446 データコンテキストに基づいてデータを処理する方法 2011年 5月18日
特許 4685321 被処理体の還元方法 2011年 5月18日
特許 4684924 プラズマエッチング方法、プラズマエッチング装置及びコンピュータ記憶媒体 2011年 5月18日
特許 4684403 プラズマ処理装置 2011年 5月18日

739 件中 496-510 件を表示

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4687534 4686887 4689324 4688764 4688637 4687682 4684408 4685559 4684805 4685584 4684858 4685446 4685321 4684924 4684403

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