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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第62位 621件
(2010年:第57位 692件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第41位 739件
(2010年:第39位 580件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 4687534 | 基板の載置機構及び基板処理装置 | 2011年 5月25日 | |
特許 4686887 | 成膜方法 | 2011年 5月25日 | |
特許 4689324 | 成膜装置、成膜方法および記録媒体 | 2011年 5月25日 | |
特許 4688764 | 基板処理装置の載置台除電方法 | 2011年 5月25日 | |
特許 4688637 | 基板処理装置及びバッチ編成装置並びにバッチ編成方法及びバッチ編成プログラム | 2011年 5月25日 | |
特許 4687682 | 塗布、現像装置及びその方法並びに記憶媒体 | 2011年 5月25日 | |
特許 4684408 | 処理装置 | 2011年 5月18日 | |
特許 4685559 | プローブカードと載置台との平行度調整方法及び検査用プログラム記憶媒体並びに検査装置 | 2011年 5月18日 | |
特許 4684805 | プローブ装置及び被検査体とプローブとの接触圧の調整方法 | 2011年 5月18日 | |
特許 4685584 | 塗布、現像装置 | 2011年 5月18日 | |
特許 4684858 | リンス処理方法、現像処理方法、現像処理装置、制御プログラムおよびコンピュータ読取可能な記憶媒体 | 2011年 5月18日 | |
特許 4685446 | データコンテキストに基づいてデータを処理する方法 | 2011年 5月18日 | |
特許 4685321 | 被処理体の還元方法 | 2011年 5月18日 | |
特許 4684924 | プラズマエッチング方法、プラズマエッチング装置及びコンピュータ記憶媒体 | 2011年 5月18日 | |
特許 4684403 | プラズマ処理装置 | 2011年 5月18日 |
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4687534 4686887 4689324 4688764 4688637 4687682 4684408 4685559 4684805 4685584 4684858 4685446 4685321 4684924 4684403
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