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東京エレクトロン株式会社

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  2011年 特許取得件数ランキング    第41位 739件 下降2010年:第39位 580件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4664264 検出装置及び検出方法 2011年 4月 6日
特許 4664233 熱処理板の温度設定方法,プログラム,プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体及び熱処理板の温度設定装置 2011年 4月 6日
特許 4664232 熱処理板の温度設定方法,プログラム,プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体及び熱処理板の温度設定装置 2011年 4月 6日
特許 4663368 プラズマエッチング方法、プラズマエッチング装置、制御プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2011年 4月 6日
特許 4662466 塗布膜形成装置及びその制御方法 2011年 3月30日
特許 4663110 処理装置 2011年 3月30日
特許 4663059 処理装置のクリーニング方法 2011年 3月30日
特許 4661990 成膜装置、成膜方法、基板処理装置及び記憶媒体 2011年 3月30日
特許 4661968 枚葉式の処理装置 2011年 3月30日
特許 4661812 成膜方法及び記憶媒体 2011年 3月30日
特許 4660926 枚葉式の処理装置 2011年 3月30日
特許 4660579 キャップメタル形成方法 2011年 3月30日
特許 4662352 蒸気乾燥方法及びその装置並びにその記録媒体 2011年 3月30日
特許 4662479 熱処理装置 2011年 3月30日
特許 4661753 基板処理方法、洗浄方法及び記憶媒体 2011年 3月30日

739 件中 571-585 件を表示

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4664264 4664233 4664232 4663368 4662466 4663110 4663059 4661990 4661968 4661812 4660926 4660579 4662352 4662479 4661753

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