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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第62位 621件
(2010年:第57位 692件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第41位 739件
(2010年:第39位 580件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 4664264 | 検出装置及び検出方法 | 2011年 4月 6日 | |
特許 4664233 | 熱処理板の温度設定方法,プログラム,プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体及び熱処理板の温度設定装置 | 2011年 4月 6日 | |
特許 4664232 | 熱処理板の温度設定方法,プログラム,プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体及び熱処理板の温度設定装置 | 2011年 4月 6日 | |
特許 4663368 | プラズマエッチング方法、プラズマエッチング装置、制御プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2011年 4月 6日 | |
特許 4662466 | 塗布膜形成装置及びその制御方法 | 2011年 3月30日 | |
特許 4663110 | 処理装置 | 2011年 3月30日 | |
特許 4663059 | 処理装置のクリーニング方法 | 2011年 3月30日 | |
特許 4661990 | 成膜装置、成膜方法、基板処理装置及び記憶媒体 | 2011年 3月30日 | |
特許 4661968 | 枚葉式の処理装置 | 2011年 3月30日 | |
特許 4661812 | 成膜方法及び記憶媒体 | 2011年 3月30日 | |
特許 4660926 | 枚葉式の処理装置 | 2011年 3月30日 | |
特許 4660579 | キャップメタル形成方法 | 2011年 3月30日 | |
特許 4662352 | 蒸気乾燥方法及びその装置並びにその記録媒体 | 2011年 3月30日 | |
特許 4662479 | 熱処理装置 | 2011年 3月30日 | |
特許 4661753 | 基板処理方法、洗浄方法及び記憶媒体 | 2011年 3月30日 |
739 件中 571-585 件を表示
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4664264 4664233 4664232 4663368 4662466 4663110 4663059 4661990 4661968 4661812 4660926 4660579 4662352 4662479 4661753
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