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東京エレクトロン株式会社
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■ 2012年 出願公開件数ランキング 第53位 714件
（
2011年：第62位 621件）
■ 2012年 特許取得件数ランキング 第37位 902件
（2011年：第41位 739件）
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東京エレクトロン株式会社の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5103983 | ガス供給方法、ガス供給装置、半導体製造装置及び記憶媒体 | 2012年12月19日 | |
| 特許 5101243 | 基板処理装置，基板処理装置の制御方法，およびプログラム | 2012年12月19日 | |
| 特許 5102500 | 基板処理装置 | 2012年12月19日 | |
| 特許 5102467 | 基板処理方法 | 2012年12月19日 | |
| 特許 5101868 | シングルチャンバ内で異なる堆積プロセスを実行する方法およびシステム | 2012年12月19日 | |
| 特許 5100075 | プラズマエッチング方法 | 2012年12月19日 | |
| 特許 5103356 | 基板洗浄ブラシ及び基板処理装置並びに基板洗浄方法 | 2012年12月19日 | |
| 特許 5098964 | ウエハの洗浄方法及び記憶媒体 | 2012年12月12日 | |
| 特許 5099054 | 基板処理装置、基板処理方法、塗布、現像装置、塗布、現像方法及び記憶媒体 | 2012年12月12日 | |
| 特許 5095031 | 排気ポンプ | 2012年12月12日 | |
| 特許 5098882 | プラズマ処理装置 | 2012年12月12日 | |
| 特許 5099101 | プラズマ処理装置 | 2012年12月12日 | |
| 特許 5097787 | 塗布装置及びノズル洗浄方法 | 2012年12月12日 | |
| 特許 5096182 | 熱処理炉 | 2012年12月12日 | |
| 特許 5097134 | サーバ装置、情報処理方法、及びプログラム | 2012年12月12日 |
902 件中 46-60 件を表示
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5103983 5101243 5102500 5102467 5101868 5100075 5103356 5098964 5099054 5095031 5098882 5099101 5097787 5096182 5097134
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