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東京エレクトロン株式会社

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  2012年 出願公開件数ランキング    第53位 714件 上昇2011年:第62位 621件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第37位 902件 上昇2011年:第41位 739件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5103983 ガス供給方法、ガス供給装置、半導体製造装置及び記憶媒体 2012年12月19日
特許 5101243 基板処理装置,基板処理装置の制御方法,およびプログラム 2012年12月19日
特許 5102500 基板処理装置 2012年12月19日
特許 5102467 基板処理方法 2012年12月19日
特許 5101868 シングルチャンバ内で異なる堆積プロセスを実行する方法およびシステム 2012年12月19日
特許 5100075 プラズマエッチング方法 2012年12月19日
特許 5103356 基板洗浄ブラシ及び基板処理装置並びに基板洗浄方法 2012年12月19日
特許 5098964 ウエハの洗浄方法及び記憶媒体 2012年12月12日
特許 5099054 基板処理装置、基板処理方法、塗布、現像装置、塗布、現像方法及び記憶媒体 2012年12月12日
特許 5095031 排気ポンプ 2012年12月12日
特許 5098882 プラズマ処理装置 2012年12月12日
特許 5099101 プラズマ処理装置 2012年12月12日
特許 5097787 塗布装置及びノズル洗浄方法 2012年12月12日
特許 5096182 熱処理炉 2012年12月12日
特許 5097134 サーバ装置、情報処理方法、及びプログラム 2012年12月12日

902 件中 46-60 件を表示

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5103983 5101243 5102500 5102467 5101868 5100075 5103356 5098964 5099054 5095031 5098882 5099101 5097787 5096182 5097134

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