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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第58位 686件 (2013年:第60位 712件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第48位 694件 (2013年:第45位 796件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5630415 | 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 | 2014年11月26日 | |
特許 5632317 | 冷却装置の運転方法及び検査装置 | 2014年11月26日 | |
特許 5632626 | 自動整合装置及びプラズマ処理装置 | 2014年11月26日 | |
特許 5630526 | 熱処理装置 | 2014年11月26日 | |
特許 5630393 | 成膜装置及び基板処理装置 | 2014年11月26日 | |
特許 5630379 | 温度測定装置、温度測定方法、記憶媒体及び熱処理装置 | 2014年11月26日 | |
特許 5631815 | めっき処理方法、めっき処理装置および記憶媒体 | 2014年11月26日 | |
特許 5632240 | 微細パターンの形成方法 | 2014年11月26日 | |
特許 5625981 | 熱処理装置及び熱処理方法 | 2014年11月19日 | |
特許 5626167 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 | 2014年11月19日 | |
特許 5625624 | 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 | 2014年11月19日 | |
特許 5626122 | 基板検査装置、基板検査方法及び記憶媒体 | 2014年11月19日 | |
特許 5627984 | 成膜方法、成膜装置及び半導体装置の製造方法 | 2014年11月19日 | |
特許 5626736 | 接合装置、接合システム、接合方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2014年11月19日 | |
特許 5629098 | シリコン基板上のパターン修復方法 | 2014年11月19日 |
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5630415 5632317 5632626 5630526 5630393 5630379 5631815 5632240 5625981 5626167 5625624 5626122 5627984 5626736 5629098
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