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東京エレクトロン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第58位 686件 上昇2013年:第60位 712件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第48位 694件 下降2013年:第45位 796件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5630415 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 2014年11月26日
特許 5632317 冷却装置の運転方法及び検査装置 2014年11月26日
特許 5632626 自動整合装置及びプラズマ処理装置 2014年11月26日
特許 5630526 熱処理装置 2014年11月26日
特許 5630393 成膜装置及び基板処理装置 2014年11月26日
特許 5630379 温度測定装置、温度測定方法、記憶媒体及び熱処理装置 2014年11月26日
特許 5631815 めっき処理方法、めっき処理装置および記憶媒体 2014年11月26日
特許 5632240 微細パターンの形成方法 2014年11月26日
特許 5625981 熱処理装置及び熱処理方法 2014年11月19日
特許 5626167 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2014年11月19日
特許 5625624 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 2014年11月19日
特許 5626122 基板検査装置、基板検査方法及び記憶媒体 2014年11月19日
特許 5627984 成膜方法、成膜装置及び半導体装置の製造方法 2014年11月19日
特許 5626736 接合装置、接合システム、接合方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2014年11月19日
特許 5629098 シリコン基板上のパターン修復方法 2014年11月19日

694 件中 46-60 件を表示

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5630415 5632317 5632626 5630526 5630393 5630379 5631815 5632240 5625981 5626167 5625624 5626122 5627984 5626736 5629098

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