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東京エレクトロン株式会社

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  2011年 出願公開件数ランキング    第62位 621件 下降2010年:第57位 692件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第41位 739件 下降2010年:第39位 580件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4618920 熱処理装置用ヒータの結線方法及び熱処理装置 2011年 1月26日
特許 4620766 はがし装置及びはがし方法 2011年 1月26日
特許 4620536 基板処理装置 2011年 1月26日
特許 4619854 ロードロック装置及び処理方法 2011年 1月26日
特許 4615040 トラップ装置及び減圧乾燥装置 2011年 1月19日
特許 4616873 半導体製造装置、基板保持方法及びプログラム 2011年 1月19日
特許 4616731 塗布、現像装置 2011年 1月19日
特許 4615442 プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 2011年 1月19日
特許 4615335 温度制御システム及び基板処理装置 2011年 1月19日
特許 4616605 プラズマ処理方法、プラズマ処理装置及び記憶媒体 2011年 1月19日
特許 4615464 プラズマ処理装置用電極アッセンブリ及びプラズマ処理装置 2011年 1月19日
特許 4615290 プラズマエッチング方法 2011年 1月19日
特許 4614626 薄肉半導体チップの製造方法 2011年 1月19日
特許 4614455 基板搬送処理装置 2011年 1月19日
特許 4610021 処理装置の運転方法及び処理装置の異常検出方法 2011年 1月12日

739 件中 691-705 件を表示

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4618920 4620766 4620536 4619854 4615040 4616873 4616731 4615442 4615335 4616605 4615464 4615290 4614626 4614455 4610021

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