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東京エレクトロン株式会社

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  2011年 特許取得件数ランキング    第41位 739件 下降2010年:第39位 580件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4606348 基板処理装置及び基板搬送方法並びに記憶媒体 2011年 1月 5日
特許 4607678 熱処理装置、ヒータ及びヒータの製造方法 2011年 1月 5日
特許 4607637 シリコン窒化膜の形成方法、シリコン窒化膜の形成装置及びプログラム 2011年 1月 5日
特許 4607618 成膜装置、コンピュータプログラム及び記憶媒体 2011年 1月 5日
特許 4607576 半導体製造装置 2011年 1月 5日
特許 4607474 成膜装置 2011年 1月 5日
特許 4607347 被処理体の処理方法及び処理装置 2011年 1月 5日
特許 4606944 プラズマ処理装置およびインピーダンス調整方法 2011年 1月 5日
特許 4606508 天板及びプラズマ処理装置 2011年 1月 5日
特許 4605853 熱処理装置、熱処理システム及び熱処理方法 2011年 1月 5日
特許 4607865 基板の温度コントロールのための方法とシステム 2011年 1月 5日
特許 4607848 基板処理装置、基板受け渡し位置の調整方法及び記憶媒体 2011年 1月 5日
特許 4607748 基板のパーティクル除去方法、その装置及び塗布、現像装置 2011年 1月 5日
特許 4607517 プラズマ処理装置 2011年 1月 5日
特許 4606947 リークレート測定方法並びにリークレート測定に用いるプログラムおよび記憶媒体 2011年 1月 5日

739 件中 721-735 件を表示

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4606348 4607678 4607637 4607618 4607576 4607474 4607347 4606944 4606508 4605853 4607865 4607848 4607748 4607517 4606947

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