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東京エレクトロン株式会社

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  2012年 出願公開件数ランキング    第53位 714件 上昇2011年:第62位 621件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第37位 902件 上昇2011年:第41位 739件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5097666 オリフィス板及び流量制御装置 2012年12月12日
特許 5095031 排気ポンプ 2012年12月12日
特許 5098964 ウエハの洗浄方法及び記憶媒体 2012年12月12日
特許 5098882 プラズマ処理装置 2012年12月12日
特許 5095999 半導体処理ツールによって実行されるプロセスを分析する第1の原理シミュレーションを使用するシステム及び方法。 2012年12月12日
特許 5096335 熱処理システムのビルトイン・セルフテスト 2012年12月12日 共同出願
特許 5099101 プラズマ処理装置 2012年12月12日
特許 5095786 半導体製造方法 2012年12月12日
特許 5095990 基板処理装置およびクリーニング方法 2012年12月12日
特許 5096182 熱処理炉 2012年12月12日
特許 5097074 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2012年12月12日
特許 5090299 プラズマ処理装置および基板載置台 2012年12月 5日
特許 5089306 処理システムの制御装置、処理システムの制御方法および制御プログラムを記憶した記憶媒体 2012年12月 5日
特許 5089871 半導体装置の製造方法 2012年12月 5日
特許 5089121 シリコン酸化膜の形成方法およびプラズマ処理装置 2012年12月 5日

902 件中 61-75 件を表示

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5097666 5095031 5098964 5098882 5095999 5096335 5099101 5095786 5095990 5096182 5097074 5090299 5089306 5089871 5089121

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