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東京エレクトロン株式会社

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  2013年 特許取得件数ランキング    第45位 796件 下降2012年:第37位 902件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5357486 プラズマ処理装置 2013年12月 4日
特許 5358138 検査装置 2013年12月 4日
特許 5361189 改良されたバフル板のための方法及び装置 2013年12月 4日
特許 5361195 微小特徴部位において欠陥を減少させたシリコン又はシリコンゲルマニウムの堆積 2013年12月 4日
特許 5357694 位置ずれ防止装置、これを備えた基板保持具、基板搬送装置および基板搬送方法 2013年12月 4日
特許 5360069 プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 2013年12月 4日
特許 5357710 基板処理方法,基板処理装置,プログラムを記録した記録媒体 2013年12月 4日
特許 5356962 載置機構、ダイシングフレーム付きウエハの搬送方法及びこの搬送方法に用いられるウエハ搬送用プログラム 2013年12月 4日
特許 5358956 載置台装置、処理装置、温度制御方法及び記憶媒体 2013年12月 4日
特許 5358366 基板処理装置及び方法 2013年12月 4日
特許 5361467 気化器 2013年12月 4日
特許 5359642 成膜方法 2013年12月 4日
特許 5361657 プライミング処理方法及びプライミング処理装置 2013年12月 4日
特許 5357487 シリコン酸化膜の形成方法、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体およびプラズマ酸化処理装置 2013年12月 4日
特許 5358651 熱処理方法及び熱処理装置 2013年12月 4日

794 件中 61-75 件を表示

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5357486 5358138 5361189 5361195 5357694 5360069 5357710 5356962 5358956 5358366 5361467 5359642 5361657 5357487 5358651

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