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東京エレクトロン株式会社

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  2012年 出願公開件数ランキング    第53位 714件 上昇2011年:第62位 621件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第37位 902件 上昇2011年:第41位 739件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5082411 成膜方法 2012年11月28日
特許 5086083 基板を処理するための方法 2012年11月28日
特許 5083173 処理方法及び処理装置 2012年11月28日
特許 5086283 パターン形成方法及び半導体装置の製造方法 2012年11月28日
特許 5084779 プラグインユニット 2012年11月28日
特許 5084508 クリーニング方法 2012年11月28日
特許 5081527 気体清浄化装置及び気体清浄化方法 2012年11月28日
特許 5084236 デバイス製造装置およびデバイス製造方法 2012年11月28日
特許 5083268 基板支持装置 2012年11月28日
特許 5082229 プラズマ処理装置 2012年11月28日
特許 5084420 ロードロック装置および真空処理システム 2012年11月28日
特許 5084656 現像処理方法及び現像処理装置 2012年11月28日
特許 5084250 ガス処理装置およびガス処理方法ならびに記憶媒体 2012年11月28日
特許 5083285 疎水化処理装置、疎水化処理方法及び記憶媒体 2012年11月28日
特許 5082459 プラズマ処理装置及び天板の製造方法 2012年11月28日

902 件中 91-105 件を表示

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5082411 5086083 5083173 5086283 5084779 5084508 5081527 5084236 5083268 5082229 5084420 5084656 5084250 5083285 5082459

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