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東京エレクトロン株式会社
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（
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■ 2014年 特許取得件数ランキング 第48位 694件
（
2013年：第45位 796件）
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東京エレクトロン株式会社の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5609813 | 処理装置 | 2014年10月22日 | |
| 特許 5613471 | 縦型熱処理装置及びその制御方法 | 2014年10月22日 | |
| 特許 5612507 | カーボンナノチューブの形成方法、その前処理方法、電子放出素子及び照明装置 | 2014年10月22日 | |
| 特許 5610009 | 基板処理装置 | 2014年10月22日 | |
| 特許 5609744 | 基板受け渡し装置、基板受け渡し方法及び基板処理装置 | 2014年10月22日 | |
| 特許 5606024 | 被処理体加熱処理方法及び被処理体加熱処理装置 | 2014年10月15日 | |
| 特許 5606821 | プラズマ処理装置 | 2014年10月15日 | |
| 特許 5608384 | 半導体装置の製造方法及びプラズマエッチング装置 | 2014年10月15日 | |
| 特許 5606060 | エッチング方法及びエッチング処理装置 | 2014年10月15日 | |
| 特許 5605464 | 成膜装置及びそのクリーニング方法 | 2014年10月15日 | |
| 特許 5606429 | 接合方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体、接合装置及び接合システム | 2014年10月15日 | |
| 特許 5608350 | 選択的なシリサイドの形成方法及び半導体装置 | 2014年10月15日 | |
| 特許 5606992 | 液処理装置および液処理方法 | 2014年10月15日 | |
| 特許 5606063 | プラズマ処理装置 | 2014年10月15日 | |
| 特許 5604885 | 被処理体周縁部の付着物除去装置 | 2014年10月15日 |
694 件中 91-105 件を表示
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5609813 5613471 5612507 5610009 5609744 5606024 5606821 5608384 5606060 5605464 5606429 5608350 5606992 5606063 5604885
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