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東京エレクトロン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第58位 686件 上昇2013年:第60位 712件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第48位 694件 下降2013年:第45位 796件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5609813 処理装置 2014年10月22日
特許 5613471 縦型熱処理装置及びその制御方法 2014年10月22日
特許 5612507 カーボンナノチューブの形成方法、その前処理方法、電子放出素子及び照明装置 2014年10月22日
特許 5610009 基板処理装置 2014年10月22日
特許 5609744 基板受け渡し装置、基板受け渡し方法及び基板処理装置 2014年10月22日
特許 5606024 被処理体加熱処理方法及び被処理体加熱処理装置 2014年10月15日
特許 5606821 プラズマ処理装置 2014年10月15日
特許 5608384 半導体装置の製造方法及びプラズマエッチング装置 2014年10月15日
特許 5606060 エッチング方法及びエッチング処理装置 2014年10月15日
特許 5605464 成膜装置及びそのクリーニング方法 2014年10月15日
特許 5606429 接合方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体、接合装置及び接合システム 2014年10月15日
特許 5608350 選択的なシリサイドの形成方法及び半導体装置 2014年10月15日
特許 5606992 液処理装置および液処理方法 2014年10月15日
特許 5606063 プラズマ処理装置 2014年10月15日
特許 5604885 被処理体周縁部の付着物除去装置 2014年10月15日

694 件中 91-105 件を表示

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5609813 5613471 5612507 5610009 5609744 5606024 5606821 5608384 5606060 5605464 5606429 5608350 5606992 5606063 5604885

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