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東京エレクトロン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第58位 686件 上昇2013年:第60位 712件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第48位 694件 下降2013年:第45位 796件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5607587 基板処理装置及び同基板処理装置の除去処理体並びに基板処理方法 2014年10月15日
特許 5606060 エッチング方法及びエッチング処理装置 2014年10月15日
特許 5603314 搬送装置及び基板処理システム 2014年10月 8日
特許 5602691 液処理装置および天板洗浄方法 2014年10月 8日
特許 5602711 成膜方法及び成膜装置 2014年10月 8日
特許 5604289 成膜装置 2014年10月 8日
特許 5601796 BSP除去装置 2014年10月 8日
特許 5604063 基板処理方法及び記憶媒体 2014年10月 8日
特許 5602690 液処理装置および液処理方法 2014年10月 8日
特許 5604371 液処理装置および液処理方法 2014年10月 8日
特許 5602282 プラズマ処理装置およびフォーカスリングとフォーカスリング部品 2014年10月 8日
特許 5600624 塗布膜形成装置及び塗布膜形成方法 2014年10月 1日
特許 5600703 搬送装置及び搬送方法 2014年10月 1日
特許 5597071 アンテナユニットおよび誘導結合プラズマ処理装置 2014年10月 1日
特許 5597602 基板処理装置、基板処理方法及びその基板処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記憶媒体 2014年10月 1日

694 件中 106-120 件を表示

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5607587 5606060 5603314 5602691 5602711 5604289 5601796 5604063 5602690 5604371 5602282 5600624 5600703 5597071 5597602

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