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東京エレクトロン株式会社
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■ 2012年 出願公開件数ランキング 第53位 714件
（
2011年：第62位 621件）
■ 2012年 特許取得件数ランキング 第37位 902件
（2011年：第41位 739件）
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東京エレクトロン株式会社の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5079949 | 処理装置および処理方法 | 2012年11月21日 | |
| 特許 5078180 | 基板搬送装置 | 2012年11月21日 | |
| 特許 5076750 | プローブ装置及びプローブ方法 | 2012年11月21日 | |
| 特許 5080775 | 処理終点検出方法及び処理終点検出装置 | 2012年11月21日 | |
| 特許 5077155 | 成膜装置及びそのクリーニング方法 | 2012年11月21日 | |
| 特許 5079806 | 検査用構造体 | 2012年11月21日 | |
| 特許 5077844 | 光学的に調節可能な反射防止コーティングの作製方法 | 2012年11月21日 | |
| 特許 5075793 | 可動ガス導入構造物及び基板処理装置 | 2012年11月21日 | |
| 特許 5077992 | サーバ装置、情報処理方法、及びプログラム | 2012年11月21日 | |
| 特許 5080724 | 基板処理装置、基板処理方法、及びプログラム | 2012年11月21日 | |
| 特許 5073645 | プラズマ酸化処理方法および半導体装置の製造方法 | 2012年11月14日 | |
| 特許 5074862 | 載置台の覆い部材 | 2012年11月14日 | |
| 特許 5074883 | プローブ装置に用いられる載置装置 | 2012年11月14日 | |
| 特許 5072531 | プラズマエッチング方法及び記憶媒体 | 2012年11月14日 | |
| 特許 5072380 | 基板処理システム | 2012年11月14日 |
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5079949 5078180 5076750 5080775 5077155 5079806 5077844 5075793 5077992 5080724 5073645 5074862 5074883 5072531 5072380
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