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東京エレクトロン株式会社

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  2012年 出願公開件数ランキング    第53位 714件 上昇2011年:第62位 621件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第37位 902件 上昇2011年:第41位 739件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5079949 処理装置および処理方法 2012年11月21日
特許 5078180 基板搬送装置 2012年11月21日
特許 5076750 プローブ装置及びプローブ方法 2012年11月21日
特許 5080775 処理終点検出方法及び処理終点検出装置 2012年11月21日
特許 5077155 成膜装置及びそのクリーニング方法 2012年11月21日
特許 5079806 検査用構造体 2012年11月21日
特許 5077844 光学的に調節可能な反射防止コーティングの作製方法 2012年11月21日
特許 5075793 可動ガス導入構造物及び基板処理装置 2012年11月21日
特許 5077992 サーバ装置、情報処理方法、及びプログラム 2012年11月21日
特許 5080724 基板処理装置、基板処理方法、及びプログラム 2012年11月21日
特許 5073645 プラズマ酸化処理方法および半導体装置の製造方法 2012年11月14日
特許 5074862 載置台の覆い部材 2012年11月14日
特許 5074883 プローブ装置に用いられる載置装置 2012年11月14日
特許 5072531 プラズマエッチング方法及び記憶媒体 2012年11月14日
特許 5072380 基板処理システム 2012年11月14日

902 件中 121-135 件を表示

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5079949 5078180 5076750 5080775 5077155 5079806 5077844 5075793 5077992 5080724 5073645 5074862 5074883 5072531 5072380

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