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東京エレクトロン株式会社

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  2013年 出願公開件数ランキング    第60位 712件 下降2012年:第53位 714件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第45位 796件 下降2012年:第37位 902件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5338335 搬送容器の開閉装置及びプローブ装置 2013年11月13日
特許 5341986 蒸着処理装置および蒸着処理方法 2013年11月13日
特許 5336441 液処理装置及び液処理方法 2013年11月 6日
特許 5337180 塗布処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び塗布処理装置 2013年11月 6日
特許 5336799 化学的機械研磨装置、化学的機械研磨方法及び制御プログラム 2013年11月 6日 共同出願
特許 5337376 単分子層堆積方法および装置 2013年11月 6日 共同出願
特許 5333804 成膜装置および成膜方法 2013年11月 6日 共同出願
特許 5332007 光計測を用いた二重露光リソグラフィの位置精度判断 2013年11月 6日
特許 5333408 保持部材の姿勢判定装置、その方法、基板処理装置及び記憶媒体 2013年11月 6日
特許 5337269 アモルファスシリコン膜の成膜方法および成膜装置 2013年11月 6日
特許 5337541 処理液供給機構、処理液供給方法、液処理装置、および記憶媒体 2013年11月 6日
特許 5335875 プラズマ処理装置 2013年11月 6日
特許 5336570 ガス導入装置及び基板処理装置 2013年11月 6日
特許 5336885 基板搬送装置及び基板搬送方法 2013年11月 6日
特許 5336968 プラズマ処理装置用電極及びプラズマ処理装置 2013年11月 6日

794 件中 121-135 件を表示

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5338335 5341986 5336441 5337180 5336799 5337376 5333804 5332007 5333408 5337269 5337541 5335875 5336570 5336885 5336968

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