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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第362位 104件
(2017年:第327位 135件)
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第328位 87件
(2017年:第348位 80件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6379208 | スパッタリング装置 | 2018年 8月22日 | |
特許 6379318 | 成膜装置及び成膜方法並びに太陽電池の製造方法 | 2018年 8月22日 | |
特許 6379322 | 成膜装置 | 2018年 8月22日 | |
特許 6375470 | イオン源及びイオン注入装置 | 2018年 8月15日 | |
特許 6369845 | 成膜装置 | 2018年 8月 8日 | |
特許 6367331 | 多層膜及びその製造方法 | 2018年 8月 1日 | |
特許 6358727 | 仕切弁 | 2018年 7月18日 | |
特許 6358902 | 排ガス浄化用触媒の製造方法 | 2018年 7月18日 | |
特許 6359118 | ターゲットアッセンブリ | 2018年 7月18日 | |
特許 6347547 | 洗浄廃水の電気透析装置及び電気透析方法 | 2018年 6月27日 | |
特許 6345854 | 真空処理装置 | 2018年 6月20日 | |
特許 6346286 | 基板処理装置 | 2018年 6月20日 | |
特許 6328253 | 膜厚モニタおよび膜厚測定方法 | 2018年 6月13日 | |
特許 6342195 | 窒化ガリウム膜のエッチング方法 | 2018年 6月13日 | |
特許 6342217 | 凹部形成方法及び熱処理炉 | 2018年 6月13日 |
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6379208 6379318 6379322 6375470 6369845 6367331 6358727 6358902 6359118 6347547 6345854 6346286 6328253 6342195 6342217
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