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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第641位 46件
(2022年:第550位 56件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第259位 132件
(2022年:第238位 135件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7305565 | 真空処理装置 | 2023年 7月10日 | |
特許 7305886 | マグネトロンスパッタリング装置及びこのマグネトロンスパッタリング装置を用いた成膜方法 | 2023年 7月10日 | |
特許 7303031 | 真空蒸着装置用の蒸着源 | 2023年 7月 4日 | |
特許 7303060 | 真空処理装置 | 2023年 7月 4日 | |
特許 7303393 | 回転式カソードユニット用の駆動ブロック | 2023年 7月 4日 | |
特許 7299739 | プラズマ処理装置 | 2023年 6月28日 | |
特許 7297449 | 蒸着装置及びノズル用アダプタ | 2023年 6月26日 | |
特許 7297531 | スパッタ成膜装置及びスパッタ成膜方法 | 2023年 6月26日 | |
特許 7292913 | 真空装置、運搬装置、アラインメント方法 | 2023年 6月19日 | |
特許 7290413 | 真空処理装置 | 2023年 6月13日 | |
特許 7290509 | 真空処理装置 | 2023年 6月13日 | |
特許 7290545 | ピラニ真空計 | 2023年 6月13日 | |
特許 7287767 | ドライエッチング方法 | 2023年 6月 6日 | |
特許 7287838 | 成膜システム、および、成膜方法 | 2023年 6月 6日 | |
特許 7286420 | イオン注入装置 | 2023年 6月 5日 |
137 件中 61-75 件を表示
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7305565 7305886 7303031 7303060 7303393 7299739 7297449 7297531 7292913 7290413 7290509 7290545 7287767 7287838 7286420
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