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株式会社アルバック

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  2023年 特許取得件数ランキング    第259位 132件 下降2022年:第238位 135件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7263082 真空装置、運搬装置、アラインメント方法 2023年 4月24日
特許 7263105 巻取式成膜装置及び巻取式成膜方法 2023年 4月24日
特許 7263111 スパッタ成膜装置 2023年 4月24日
特許 7263201 プラズマ装置、電源装置、プラズマ維持方法 2023年 4月24日
特許 7262235 スパッタリング装置及びスパッタリング方法 2023年 4月21日
特許 7262287 成膜方法 2023年 4月21日
特許 7262293 真空処理装置 2023年 4月21日
特許 7256645 スパッタリング装置及び成膜方法 2023年 4月12日
特許 7256689 レジストパターンの製造方法及びレジスト膜 2023年 4月12日
特許 7256712 イオン注入方法及びイオン注入装置 2023年 4月12日
特許 7250575 成膜装置 2023年 4月 3日
特許 7250599 成膜装置及び成膜方法 2023年 4月 3日
特許 7250614 スパッタリング装置 2023年 4月 3日
特許 7245107 プラズマ処理装置 2023年 3月23日
特許 7244362 搬送室 2023年 3月22日

137 件中 91-105 件を表示

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7263082 7263105 7263111 7263201 7262235 7262287 7262293 7256645 7256689 7256712 7250575 7250599 7250614 7245107 7244362

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